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单晶炉

类别: 应用示例 发布日期:2017年12月26日(星期二)

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园晶由单晶硅晶棒加工而成,单晶硅晶棒则是由多晶硅原材料加工而成的。
在坩埚中的熔化的硅的液面放入将籽晶,边旋转边向上拉,这样拉出了原子排列方向一致的单晶硅晶棒。

 

这是一般使用的称之为CZ制造工艺。

 

另外,还有CZ工艺的单晶炉中加入强力磁场的MCZ(Magnetic field applied Czochralski)工艺,不使用石英坩埚的低氧浓度制造单晶硅晶棒的FZ(Floating Zone法)工艺

 

在半导体以及太阳能单晶炉设备中,Moretec的磁流体被广泛应用。

 

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